手动平台综合信息
手动平台的使用环境
请在以下环境，使用我们的手动平台。
如果使用环境不在此范围内的话，请咨询。
使用环境
使用环境温度
-20℃〜＋120℃
0℃〜＋40℃
-20℃〜＋70℃
推荐使用环境
23° ± 5℃, 60 ± 10% (非结露)
平台的种类，设置或动作等条件不同，其可能使用的环境也会随之相应变化的。
请一定避免在以下环境中使用。
有水或油的场所
有直射阳光，或有辐射的场所
有灰尘的场所
有震动或冲击的场所
靠近火焰的地方
有可燃性或腐蚀性气体的场所
平台安装状态
我们的资料上所列的技术指标值，是在水平安装条件下使用时的数据。
在上下倒置，垂直等条件下使用时，因为受力状态不完全一样，其承载能力和精度指标会发生变化。
| 分类 | 导轨形式 | 型号 | 上下倒置 | 侧面水平 | 侧面垂直 |
| 直线运动 | TSD导轨 | TSD，TSDH，TSDT | ◯ | ◯ | ◯ |
| TSD导轨（Z轴水平台面型） | TSD-**3 | × | × | × |
| TSD导轨（Z轴水平台面型） | TSD-**UD | ◯ | ◯ | ◯ |
| 十字交叉滚柱导轨 | TAM | ◯ | ◯ | ◯ |
| 燕尾槽导轨 | TASB, TAR | ◯ | ◯ | ◯ |
| 转动 | TSD导轨 | KSPT | ◯ | ◯ | ◯ |
| 十字交叉滚柱导轨 | KSPB | ◯ | ◯ | ◯ |
| 滑动导轨 | KSP, KSPA, KSW, KSC | △ | △ | △ |
| 摆动 | TSD导轨 | GOHT, GOHT-S | ◯ | ◯ | ◯ |
| 燕尾槽导轨 | GOH, GOHB | ◯ | ◯ | ◯ |
◯ : 可以使用，但请在承载能力和精度指标上稍留有余地。
△ : 可以使用，但请在承载能力和精度指标方面多留些余地。
× : 不可使用
注意) 在侧面垂直的条件下安装使用时，请参考驱动装置的技术指标。
安装设置方法
根据产品型号的不同有不同的安装方法；有的产品将台面移至极限位置后进行安装（此时请一定先调松锁紧钮后），
有的产品也可以直接进行安装。
直动平台
放松锁紧钮之后，转动微分头，把平台面移至极限位置后进行安装。
转动平台
摆动平台
放松锁紧钮之后，转动旋钮，把平台面移至限制位置后进行安装。
在两个安装孔处，使用附带螺栓固定，反面也使用同样的方法安装。
关于附带螺栓
产品目录的外形尺寸图上标注的螺栓将作为标准配置，附带在产品中。
微分头刻度的读法，游标刻度的读法
读取平台位置的方法有两种，分别通过微分头和游标刻度来读取。
微分头的读取方法
最小读数0.01mm的情况：
1. 以0. 5 m m为最少单位，读取固定套管①的位置。
这时候读取值为8.5mm。
2. 以0.01mm为最少单位，读取微分筒的②位置（固定套管垂线和
微分筒刻度一致的位置）。这时候读取值为0.41mm。
3. 最后把1、和2、相加，手动平台的当前位置就能确定了。
游标刻度的读取方法
1. 把游标②刻度的0处作为基准，以1mm为最少单位读取①刻度
的数值。这个时候，读数为7mm。
2. 以0.1mm为最少单位，读取副尺②和①的刻度一致的③位置。
这个时候，读数0.3mm。
3. 最后将1．，和2．的数值相加，
手动平台的当前位置就能确定了。
7mm+0.3mm=7.3mm
关于微分头反手对称型
安装空间有限或者在构建左右对称的装置时，可用同样的价格选购对称的型号。
关于微分头反手对称型说明如下：
单轴时
以图中点划线为对称轴，外形尺寸左右对称。
关于行程
行程用±来表示。
(例)
标注为±6.5mm时，以外形图的位置为中心位置，一个方向的移动范围为＋6.5mm，反方向为－6.5mm。
这个平台的全行程为13mm。
关于润滑油脂的选用
西格玛光机根据各款手动平台的特性要求，分别选用了最佳的润滑油脂。
| 型号类别 | TSD
TSDT | TAM | IPWS | GOH
GOHT | KSP
KSPT | TADC | TSDH | TSDS |
| 油脂种类 | 高耐久性油脂 | 光学用特殊油脂 | 低发尘性油脂 | 低发尘性油脂真空用油脂 |
| 工作温度范围 | -20℃ 〜 70℃ | -40℃ 〜 120℃ | -20℃ 〜 250℃ |
高耐久性油脂
这是一种用途广泛的工业用高级润滑油脂。特别适用于高质量高性能的电动机以及机床用轴承。它噪音小，应用领域广泛。
低发尘性油脂 (THK公司制AFF油脂)
发尘性小，最适用于无尘室。
粘滞阻力小，滚动阻力的变动少，低速度时的响应性好。
与其它低发尘性油脂相比，微震状态下的耐磨耗性好，加注油脂的时间间隔大。
真空用油脂 (FOMBLIN YVAC2油脂)
广泛用于各种真空设备，无尘室。该油脂的蒸汽压是为5×10－13托（20℃时）。
光学用特殊油脂
润滑性好，耐寒耐热，不容易渗透，对光学膜影响小，可用于树脂材料的零部件，在精密仪器中应用广泛。
承接更换其它类别的油脂，详情请咨询。
直动平台指南
X，Y，Z 轴方向（3维立体空间）定位的平台。
从光学实验等研究开发到各种设备，应用广泛。
直动平台的导轨方式
十字交叉滚柱导轨
滚柱和V型轨道之间为线接触，刚性好。
几乎没有滑动，摩擦小，容易实现微小驱动。
特点
使用十字交叉滚柱导轨，精度高，
刚性好平台主体使用铝合金材料，重量轻。
燕尾槽导轨
采用了燕尾槽方式，为面接触的滑动导轨。因为摩擦系数较高，不太适合于高精密定位，比较适用于简易定位。
特点
导轨构造简单，经济实用
导轨部分的滑动面是面接触，稳定性较好。
结构小巧，便于组装到设备中，或适用于狭小空间。
TSD导轨方式 (TSD·TSDH·TSDT·TSDS系列)
使用西格玛光机特有的加工技术开发制造的产品。
特点
① 精度高 ② 承载能力好 ③ 刚性好
④ 耐久性好 ⑤ 厚度薄
承载能力好，刚性好
具有4个线性接触部位，极大地提高了承载能力和刚性（刚性大约是普通V型槽导轨的13倍）。
如图-1所示，TSD导轨是一个弧形槽结构，导轨面和钢球的接触好，在所有方向上均可提供稳定的承载能力。
耐久性好
使用寿命长，几乎不需维护
图-2分别显示了弧形槽接触方式和平面接触时的压力分布。
如图所示，弧形槽接触方式时的压力更分散，变形层浅，不容易发生金属疲劳和或磨损。
精度高
采用了一体化（配做）加工，制造精度高
(直线度 小于0.7µm)
如图-3所示，利用独自开发的专用夹具，实现上板和下板的同时一体化加工，最大限度地减少了误差。也就是说，导轨是在安装了钢球时的相对位置下[配做]完成的，保证了组装后的高精度。
厚度薄
使用零件数量少，实现了更薄的结构
图-4比较了十字交叉滚柱导轨平台和TSD导轨平台的厚度。TSD导轨平台的上下板与导轨是一体的，所以厚度更薄。
直动平台选购件
选购件编码
信息
在不能用可选购件编码的指定改变寄送操纵的时候，请向营业部门咨询。
微分头的安装位置／进给方式
可改变微分头的安装位置或进给方式，使其更加理想
……有时可降低价格，有时可节省空间。
转动平台指南
实现转动调整的平台。
可以根据是否需要粗调／微调，是否需要通孔，或厚度，形状，用途等选择最合适的平台。
构造和特点
摆动平台指南
以摆动平台上面的某心为摆动中心，实现圆弧运动的平台。
用于调整姿态，或调整样品的倾斜或角度。
具有不同导轨构造，转动方式的系列产品。
构造和特点
定位销
使用定位销可缩短组装调整时间。
注意
仅限于邮寄发货。
把附带的定位销插入到GOHT平台的中心孔内，可以方便地把两台摆动平台组合为一个2轴摆动平台。
不仅方便2轴平台的组合，也可以用于安装固定时的定位。
TSD导轨方式 (GOHT·GOHTA系列)
使用西格玛光机特有的加工技术开发制造的产品。
特点
① 精度高 ② 承载能力好 ③ 刚性好 ④ 耐久性好
承载能力好，刚性好
具有4个线性接触部位，极大地提高了承载能力和刚性（刚性大约是普通V型槽导轨的13倍）。
如图-1所示，TSD导轨是一个弧形槽结构，导轨面和钢球的接触好，在所有方向上均可提供稳定的承载能力。
耐久性好
使用寿命长，几乎不需维护
图-2分别显示了弧形槽接触方式和平面接触时的压力分布。
如图所示，弧形槽接触方式时的压力更分散，变形层浅，不容易发生金属疲劳和或磨损。
精度高
采用特殊得加工方法，实现了导轨和上下板的一体化。
如图-3所示，传统的十字交叉滚柱型摆动平台，其台面和导轨是分离的。所需零件数量多，所以装配误差会大，一致性也会差，尤其是摆动中心的空间位置误差大。
摆动中心误差
西格玛光机的TSD导轨摆动平台 0.007mm以下
其它公司制造的十字交叉滚柱型导轨摆动平台 0.01mm以下
信息
摆动中心误差的测量方法
在摆动平台上方固定一个标准球，从起点到终点（全行程），按一定方向依次定位，并用三坐标测量仪测量标准球的位置。然后，根据其测量结果计算实际的轨迹，计算出摆动中心误差。
TSD导轨手动平台的耐久性数据
直动平台
测试方法
在平台上加负载（垂直载荷），反复运动，测量其状态变化。
测试条件
| 测试样品 | TSD-601 |
| 载荷 | 100N |
| 动作条件 | 13 mm × 往返/秒
(连续动作) |
| 动作次数 (距离) | 1,000万次 (相当于260km) |
TSD系列
连续动作1,000万次后，其刚性，直线度，俯仰／摆动精度，移动平行度等都没有大的变化，仍在规定的指标范围内。
扭矩刚度
直线度
俯仰／偏摆
移动平行度
摆动平台
测试方法
在平台上加负载（垂直载荷），反复运动，测量其状态变化。
测试条件
| 测试样品 | GOHT-60A85B |
| 载荷 | 50N |
| 动作条件 | ±15° × 0.5 往返/秒
(连续动作) |
| 动作次数 (距离) | 60万次（相当于30km） |
GOTH系列
连续动作60万次后，其刚性，摆动中心误差都没有大的变化，仍在规定的指标范围内。
扭矩刚度
摆动中心误差
转动平台
测试方法
在平台上加负载（垂直载荷），反复运动，测量其状态变化。
测试条件
| 测试样品 | KSPT-606MH |
| 载荷 | 100N |
| 动作条件 | ±10° × 1 往返/秒
(连续动作) |
| 动作次数（距离） | 10万次（相当于1km） |
KSPT系列
连续动作10万次后，其刚性，台面跳动／平行度都没有大的变化，仍在规定的指标范围内。
扭矩刚度
台面跳动／平行度
其他平台指南
倾斜平台
是用于光学元件或样品的调整平台。它具有2个或3个调整自由度。
本公司的倾斜平台由两块板面构成，由三个点支持上板，其中以一点作为支点进行倾斜调整。
调整钮型
没有刻度，适合简单的调整的情况。
微分头型·精密调节螺杆型
可进行精密调节。
多轴平台
还有多款产品没有刊登在此目录上，更多请参考网页。
不锈钢平台在真空环境中的使用说明
实际测量了真空环境下手动不锈钢平台的挥发性气体。
实测结果表明，挥发性气体的主要成分为水分和炭化氢。我们推测，这主要是源于附着在平台上的水分和来自润滑油脂的挥发。
放出气体量
| 型号 | 放出气体量Q（排气40分钟后） |
| (Torr·ℓ/s/unit) | (Pa·ℓ/s/unit) |
| TSDS-602S | 3.57×10-5 | 4.76×10-3 |
| TSDS-603 | 1.65×10-5 | 2.20×10-3 |
评价装置的技术指标
排气装置 :
涡轮分子泵 STP-301
EDWARDS会社
排气速度: 300ℓ/sec
质量分析装置 :
四极质谱分析仪 QME200
PFEIFFER社制造
测量范围: 1 - 200amu
真空腔内的真空度
质量成分比例
质谱峰的解释
利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。
残留气体谱线一览表
关于技术指标的定义和专业词
技术指标的定义
技术指标
4
行程
以产品的中心的位置（上板和下板在同一位置的情况下）作为基准点，用正，负表示。（在产品目录中有外形图的情况下，以外形图为基准，往一个方向移动为正几毫米，往相反方向移动为负几毫米）
上述的标准不能作为基准的情况下，用整个行程表示。
有粗调，微调的情况下，分别表示它们的行程。
5
导轨形式
TSD导轨
十字交叉滚柱导轨
燕尾槽导轨
螺杆驱动方式
滑动导轨
V型导轨
※也有左侧以外的特殊导轨，请参照各自的产品目录。
6
主要材料
表面处理
表示产品的主要材料成分和表面处理
7
行程/每转
表示操作部分（微分头或精密调节螺杆）旋转一圈时的读数
8
微分头的操作位置
面对平台时微分头的安装方向，用中心或者侧面来表示。
9
承载能力
通常表示在平台中央处可搭载的最大均布载荷。（静负载）
※超出额定承载能力使用时，请咨询。
10
移动精度：直线度
（单位：µｍ）
平台在整个行程范围内，以起点到终点的直线为基准，表示了偏离此基准线的范围。
11
移动精度：俯仰
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的前后方向上的角度变化。
12
移动精度：偏摆
: 转动
从起点到终点的整个行程范围内，相对于运动方向的左右方向上的角度变化。
从起点到终点的整个行程范围内，绕运动轴方向的旋转角度变化。
13
最大承载力矩
（单位：N⋅ｍ）
当平台中心与载荷中心发生偏离时，平台可承受的最大力矩。
14
扭矩刚度
（单位："/N⋅cｍ）
是指在偏离台面中心的位置上施加载荷时（即台面中心和载荷中心不一致。）的平台的刚度。通常是指，距离台面中心1cm的位置上加载1N的负载时，台面发生的倾斜角度（单位：秒）。
16
移动平行度
在整个行程范围内，平台上面相对于平台下面的平行度。
技术指标中的专业术语
直线度（水平方向） [单位: µm]
按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的水平方向上，测出实际位置和水平位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的最大值（差）为水平方向的直线度。
直线度（垂直方向） [单位: µm]
按从起点到终点（全行程）的方向，依次进行定位，在各位置的垂直方向，测出实际位置和垂直位置的差。起点与终点的偏差修正为0后的最大值（差）为垂直方向的直线度。
俯仰 [单位: ”]
按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置对垂直方向的倾斜角度进行测量。定义其最大角度差为俯仰角度误差。
偏摆 [单位: ”]
按从起点到终点（全行程）的某一方向，依次进行定位，在各位置上，测量相对水平方向的左右摆动角度。定义其最大角度差为左右摆动误差。
平行度 [単位: µm]
将固定在平板上的百分表打在平台的上，移动整个平台，进行测量。百分表显示的最大值为平行度。
移动平行度 [单位: µm]
将平台等固定在平板上。将固定在平台上的百分表的表头打在基准平面上，全行程移动，进行测量。百分表显示的最大值为移动平行度。
同心度 [单位: µm]
将旋转平台固定在平板上，将百分表放在旋转平台的外周侧面，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的最大值的一半（偏离中心位置）为同心度。
端面跳动 [单位: µm]
将固定在平板上的百分表打在旋转平台的上端边缘，使其旋转1周（360°整周），进行测量。百分表显示的最大值为端面跳动。
