X/Y/Z轴平台纳米级FS系列

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OptoSigma,西格玛光机,SIGMAKOKI,日本西格玛光机,纳米级自动平台

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FS纳米级自动平台系统通过西格玛光机独有的电路反馈技术,能够实现最小分辨率为1nm的精密定位。对于“量子物理学”和“材料学”等相关学科的研究是必不可少的。平台分辨率分为1nm、5nm、10nm、50nm四个系列,具体取决于所需的定位精度。

西格玛光机承接订制分辨率为10nm、50nm的旋转台;以及适合真空环境使用的纳米级平台。

型号

行程

mm

台面尺寸

cm

最小分辨率

nm

重复定位精度

nm

FS-1020UPX

20

6×6

1

±2

FS-1050UPX

50

12×12

1

±2

FS-1020SPX

20

6×6

5

±10

FS-1050SPX

50

12×12

5

±10

FS-1020PX

20

6×6

10

±20

FS-1050PX

50

12×12

10

±20

FS-1100PX

100

12×12

10

±20

FS-3150PX

150

12×17

10

±20

FS-3200PX

200

16×23

10

±20

FS-1020X

20

6×6

50

±100

FS-1050X

50

12×12

50

±100

FS-1100X

100

12×12

50

±100

FS-3150X

150

12×17

50

±100

FS-3200X

200

16×23

50

±100

FS-3300X

300

16×16

50

±100

FS-3400X

400

16×16

50

±100

OptoSigma,西格玛光机,SIGMAKOKI,日本西格玛光机,纳米级自动平台